晶片上的微光學板微機械自由空間機體光學

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調式Fabry-Perotetalons(FP)etalons對波長多工(WDM)光通訊、光感測及頻譜分析上等應用是十分有用的,雖然有許多微機械式的FP etalon已被實現,但這建構在FS-MOB上之可調式濾波器是可以結合其微光學元件或光纖對光之型槽。

大部分在FS-MOB的被動微光學元件是經由表面微機械製程被整合於單晶片上,這可以在設計及製成期間被預先排列。在大部分的微光學系統中也需要主動光電、元件。

在微光學系統中,光軸高度可能隨著不同系統的需求而做調整。因此,在FS-MOB上調整垂直光束是有其需要。在光學資料儲存系統中,光碟讀寫頭對整體系統的性能扮演著一個重要的角色,最近為了實現精緻及低成本得讀寫頭,以單石型式整合的光碟讀寫頭為發展的趨勢。

我們採用表面微機械技術將三維微光學元件、微置器及微動器整合在FS-MOB上。FS-MOB在可調式etalons和單石式的自由空間光碟讀寫頭的應用已被成功地實現及測定。FS-MOB技術使得我們能夠利用成批的製成把自由空間微光學系統整合再一個晶片上。